体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法

体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法摘要：体硅电容式双轴微加速度计是一种广泛应用于安全控制、机器人导航及航空航天等领域的传感器。但是由于其信号检测方法较为传统，容易受到噪声干扰影响，影响其精度和可