溶胶凝胶法制备ZnO薄膜及其压电性能研究

溶胶凝胶法制备ZnO薄膜及其压电性能研究一、引言ZnO因其特殊的电学和光学性质在光电器件、传感器、压电器件等领域得到了广泛应用。由于ZnO本身的极化性，在力学作用下会出现压电效应。因此，研究ZnO薄膜