硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究

硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究—— 流化床反应器的模拟与空管反应器的实验报告人：刘思思 博士生E-mail: ssliu0504@gmail.com导 师：肖文德 教授E-mail: wdxia