高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究的开题报告

高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究的开题报告一、选题的背景与意义近年来，人们对于高性能非晶态氧化物半导体晶体管的研究日益深入。非晶态氧化物半导体晶体管可以作为一种新型薄膜晶体管，其具有