调制周期对Ti-TiN多层薄膜光学和电学性能的影响研究

调制周期对Ti-TiN多层薄膜光学和电学性能的影响研究摘要本文通过对Ti-TiN多层薄膜的调制周期进行实验研究，探究了其对薄膜的光学和电学性能的影响。结果表明，随着调制周期的增加，薄膜的反射率和抗电阻