检测技术压力传感器霍尔传感器

实验十 压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。二、基本原理 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P 型或N 型电阻条，接成电桥。在压力作用