单晶炉操作规程及技术规范

第二章 单晶炉操作规程及技术规范1、 目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。2、 适用范围适用于华盛天龙新、老80、85型单晶炉的操作。3、 单晶炉操作工艺流程作业准备→热态