基于高功率脉冲技术的微深孔溅射关键工艺研究

基于高功率脉冲技术的微深孔溅射关键工艺研究高功率脉冲技术是一种新型的材料处理方法，对于微深孔溅射工艺具有重要的研究价值和应用前景。本文主要围绕基于高功率脉冲技术的微深孔溅射关键工艺展开研究，以探讨其原