MEMS集成微悬臂梁谐振生化传感器和三轴加速度计的开题报告

MEMS集成微悬臂梁谐振生化传感器和三轴加速度计的开题报告摘要本研究计划开发一种MEMS集成微悬臂梁谐振生化传感器和三轴加速度计。目的在于实现对生物样品的高精度检测和分析。该传感器以微悬臂梁谐振器为主