磁控溅射制备多晶Si薄膜的工艺及性能分析

磁控溅射制备多晶Si薄膜的工艺及性能分析马志敏，何晓雄，孙飞翔，许世峰，肖会明(合肥工业大学 电子科学与应用物理学院，安徽 合肥 230009)摘 要：利用射频磁控溅射的方法，制备多晶Si薄膜。利用原