基于标准CMOS工艺的电容式微加工超声波传感器的设计、加工和测试的开题报告

基于标准CMOS工艺的电容式微加工超声波传感器的设计、加工和测试的开题报告一、选题背景及意义超声波传感器具有精度高、响应速度快等特点，在医疗、环境监测、工业等领域得到广泛应用。其中，电容式微加工超声波