横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究

横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究标题：横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究摘要：本研究运用二维粒子-电磁场混合模拟方法（PIC-MCC）研究了横