基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法的综述报告

基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法的综述报告相位偏移干涉术是一种常用的薄膜厚度测量方法，利用光在薄膜上的反射和折射现象，通过分析光程差与相位差之间的关系来确定薄膜厚度。在应用和理论方面，该方法已经被