光学干涉式MEMS麦克风关键技术研究的开题报告

光学干涉式MEMS麦克风关键技术研究的开题报告光学干涉式MEMS麦克风是一种基于微机电系统（MEMS）技术的新型麦克风，通过光学干涉原理实现声音的转化和检测。本文旨在对光学干涉式MEMS麦克风关键技术