平面电容传感器模型特性研究

平面电容传感器模型特性研究摘　要电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。由于电容式传感器具有一系列突出的优点：如结构简单，体积小，分辨率高，成本低，性能优良以及对环境要求不高、可在恶劣环境