四探针测试仪测量薄膜电阻率

膇四探针测试仪测量薄膜的电阻率肂实验目的肁1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法；芈2、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。芅二、实验仪器螅采用SDY-5型双电测四探针测试仪（含：直