氧化铝陶瓷基片的金属化及共烧工艺研究

山东理工大学硕士学位论文 摘要摘 要陶瓷/金属复合材料具有良好的导电、导热性，耐高温性和较高的机械强度，在混合集成电路和真空电子器件中具有广泛的应用，但是金属与陶瓷的连接较为困难，因此，本文主要就氧化