声表面波传感技术
- - (1)具有较低的传播速度和较短的波长;(2)沿固体表面传播的,且传播速度较慢;(3)晶体表面传播的弹性波,不涉及晶体内部电子的迁移过程;(4)采用单晶材料和用平面
声表面波传感技术