纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究

纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究摘要本文研究了纳米时栅位移传感器的电场分布与误差特性。通过建立贝尔方程，分析了电极形状和尺寸对电场分布的影响。同时，利用有限元仿真和实验验证了传感器输出信号与偏