《CMOS工艺》PPT课件

- 第二章 集成电路制作工艺 - 2.1.1 集成电路加工的基本操作2.1.2 MOS结构和分类2.2.1 N阱CMOS工艺2.2.2 深亚微米CMOS工艺2.3.1 CMOS