基于多层膜巨磁电阻磁场传感器制作工艺与特性研究

基于多层膜巨磁电阻磁场传感器制作工艺与特性研究基于多层膜巨磁电阻磁场传感器制作工艺与特性研究摘要：本文研究了基于多层膜巨磁电阻（GMR）的磁场传感器的制作工艺与特性。在制作工艺方面，采用磁控溅射和光刻