溅射法在Si片上研制ZnO薄膜及其光电器件的中期报告

溅射法在Si片上研制ZnO薄膜及其光电器件的中期报告中期报告一、研究概述本课题旨在利用溅射法在Si片上研制ZnO薄膜，探究ZnO薄膜的物理性质及其在光电器件中的应用。本阶段的研究工作主要包括以下几个方