《掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算规程》编制说明.doc

《掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算规程》编制说明一 工作简况：1.标准简况：本标准是对GB/T13389-1992《掺硼、掺磷、硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算规程》的修订。2.任务来源：