超磁致径向微进给机构结构优化与迟滞建模及控制方法研究的开题报告

超磁致径向微进给机构结构优化与迟滞建模及控制方法研究的开题报告一、研究背景和意义径向微进给是现代制造技术发展的趋势之一，在多种领域都有广泛的应用，如微电子加工、光学元件制造、生物医学等。超磁致发光（m