自对准栅垂直纳米环栅晶体管器件及工艺集成研究的开题报告

自对准栅垂直纳米环栅晶体管器件及工艺集成研究的开题报告一、研究背景及意义纳米器件技术的飞速发展和广泛应用已成为当今科技领域的热点和前沿问题。在纳米材料的基础上，开展纳米器件的研究和设计，具有非常广阔的