化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用的中期报告

化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用的中期报告本次报告主要介绍了化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用的研究进展情况。1. 背景介绍随着芯片制造技术的发展，要求光刻胶具有更高的分辨率、更大的深度和更