硅片的几何参数及测试

硅片的几何参数及测试孙晓波;苗泽志;李永生【摘要】本文介绍了硅片的几何参数：直径、厚度、平整度、粗糙度、弯曲度、翘曲度等的含义和测试原理及方法。％Thisarticleintroducesthepri