金刚石半导体研究进展

金刚石半导体研究进展摘要金刚石半导体由于具有高载流子迁移率、高电子饱和速度、高击穿电压等特点，在各领域有着广泛的应用前景。本文介绍了金刚石半导体材料及其制备方法、物理性质、微电子器件及其应用等方面的研