甚高频容性氩气放电中亚稳态与气体加热效应的实验研究

甚高频容性氩气放电中亚稳态与气体加热效应的实验研究标题：甚高频容性氩气放电中亚稳态与气体加热效应的实验研究摘要：本文通过实验研究了甚高频容性氩气放电中的亚稳态和气体加热效应。实验结果表明，亚稳态放电与