微电子领域磁悬浮进给机构设计论文

微电子领域磁悬浮进给机构设计论文 现代制造技术正朝着高速化、精密化和模块化方向发展,对精密制造设备的切削参数要求不断提高，进给系统不仅要求速度快，与髙速主轴相匹配，而且要求动态特性好，能实现