压电MEMS传感器介绍及原理解析

压电MEMS传感器介绍及原理解析一、压电效应及压电材料　　1、压电效应　　压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料，它是进行能量转换和信号传递的重要载体。最早报道材料具