真空镀膜技术与离子镀膜课件

- 第一节 薄膜的物理气相沉积 - 2.1.1 引言 - 薄膜生长方法是获得薄膜的关键。薄膜材料的质量和性能不仅依赖于薄膜材料的化学组成，而且与薄膜材