基于元胞自动机的PECVD工艺模拟与模型参数优化的开题报告

基于元胞自动机的PECVD工艺模拟与模型参数优化的开题报告一、研究背景随着微电子技术和电子产品的快速发展，人们对高质量薄膜的需求日益增加。Plasma Enhanced Chemical Vapor