基于psd的位置测量系统

万方数据科技情报开发与经济 (中北大学电子丁程系，山西太原，030012) 摘要：介绍了PSD和基于PsD的位置测量系统的工作原理，探讨了基于PsD的位置 测量系统的硬件、软件和基本电路，并对系统误差