射频容性耦合硅烷混合气体放电中等离子体化学的数值模拟

射频容性耦合硅烷混合气体放电中等离子体化学的数值模拟射频容性耦合硅烷混合气体放电中等离子体化学的数值模拟摘要：本文基于射频容性耦合等离子体（RF-ICP）放电的硅烷混合气体体系，通过数值模拟的方法研究