利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性的综述报告

利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性的综述报告离子注入技术是一种利用高能离子的轰击作用，改变材料表面或深层结构的方法，随着微电子和光电子器件的发展，离子注入技术在器件制造领域得到了广泛应