铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究的开题报告

铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究的开题报告题目：铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究一、研究背景铁电材料因其独特的电学性质在电容器、压电传感器、存储器等领域有广泛应用，成为功能材料研究的热点之一。而铁电薄