不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究的开题报告

不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究的开题报告一、选题背景砷化镓(GaAs)作为半导体材料具有良好的电学性能和光电性能，被广泛应用于通信、能源、化工等领域。在制备GaAs器件时，衬底表面的质量和平整度是