化学机械抛光工艺中相关问题的数值模拟-计算数学专业论文

摘 要随着21世纪科学技术的突飞猛进，微电子技术是当代科技发展最快的技术之 一，而集成电图(Integrate Circuits 简称IC)又是微电子技术的核心。随着IC技术朝 着特征尺度逐渐微细化、