倾斜式生长ZnS纳米柱状薄膜及其透射性能的研究

倾斜式生长ZnS纳米柱状薄膜及其透射性能的研究摘要：本研究通过化学气相沉积（CVD）和倾斜旋转控制（TRC）技术，在矽衬底上成功制备了一种纳米柱状ZnS薄膜。实验结果表明，纳米柱状薄膜具有优良的透射性