ckxAAA椭圆偏振法测量薄膜厚度实验的小结和心得

椭圆偏振法测量薄膜厚度实验的小结和心得摘要:椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法。由于椭圆偏振测量术测量精度高，具有非破