单芯片集成双惯性器件研究的综述报告

单芯片集成双惯性器件研究的综述报告随着科技的不断发展，微机电系统（MEMS）技术的应用越来越广泛，单芯片集成双惯性器件成为近年来MEMS领域的一种重要研究方向。单芯片集成双惯性器件在惯性导航、运动控制