原子层淀积高k介质MIM电容性能研究的中期报告

原子层淀积高k介质MIM电容性能研究的中期报告这是一个研究高介电常数介质MIM电容的项目的中期报告。该项目的目标是研究使用原子层淀积技术来制备具有高电容密度和低漏电流的MIM电容。本篇中期报告主要介绍