半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制开题报告

半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制开题报告一、研究背景随着现代半导体工业的蓬勃发展，组合设备在半导体制造过程中扮演着重要的角色。组合设备是由多个工序组成的复杂设备，在工艺流程中起到前置、中置或