纳米压印光刻技术的研究与发展

纳米压印光刻技术的研究与发展纳米压印光刻技术的研究与发展随着纳米技术的快速发展,一种新的材料加工技术逐渐走进人们的视野——纳米压印光刻技术(Nanoimprint Lithography, NIL)。

腾讯文库纳米压印光刻技术的研究与发展