探讨改进蓝宝石衬底表面缺陷的技术及工艺措施

探讨改进蓝宝石衬底表面缺陷的技术及工艺措施蓝宝石（α-Al2O3）作为发光二极管（LED）中常见的一种衬底材料，具有硬度高、熔点高、光透性好、热稳定性好和化学性质稳定等特性，至今已发展至6寸以上尺寸且