Ⅲ族氮化物MOCVD生长的数值模拟的中期报告

Ⅲ族氮化物MOCVD生长的数值模拟的中期报告本次研究旨在对III族氮化物MOCVD生长过程进行数值模拟，并分析其生长机制及影响因素。目前工作已完成模拟软件的选用和模型建立等初期工作，进入中期阶段。在模