高折射率差亚波长光栅的特性及其在光电探测器上的应用中期报告

高折射率差亚波长光栅的特性及其在光电探测器上的应用中期报告第一部分：高折射率差亚波长光栅的特性亚波长光栅具有小结构尺寸、高光学效率、低偏振依赖性和高温稳定性等优点，因此在光电学领域应用广泛。高折射率差