微机械惯性传感器检测平台的设计与应用(doc10)(1)

微机械惯性传感器检测平台的设计与应用摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。     关键