基于不等高梳齿的离面运动静电驱动器研究

基于不等高梳齿的离面运动静电驱动器研究摘要：离面运动静电驱动器是一种基于静电力作用的微纳机械驱动技术，具有无接触、高精度、低功耗等优点，因此在微机电系统、纳米技术等领域得到了广泛应用。本文主要介绍基于